| 专利名称: | 一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200910301705.6 |
| 申请日期: | 2009-04-21 |
| 专利号: | CN101540591 |
| 第一发明人: | 李冬梅 刘 明 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法，属于声表面波器件制造技术领域 。所述方法是在蓝宝石表面先光刻显影声表面波换能器件图形，再用离子注入方法注入金属 铝或铜元素；然后，在注入离子后的蓝宝石表面沉积多晶氮化铝压电薄膜；最后，去除光刻 胶，得到声表面波换能器图形。此方法通过注入离子使蓝宝石表面电阻率大大降低，导电能 力极大增强，从而替代原有的沉积导电薄膜。不需要沉积Al或Au薄膜，也不需要刻蚀过程。 因此，操作大大简化，同时器件的抗功率承受力也极大增强。 |
| 其它备注: | |
科研产出