| 专利名称: | 一种抗电迁移的声表面波传感器的制作方法 |
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| 申请号: | 200910301691.8 |
| 申请日期: | 2009-04-21 |
| 专利号: | CN101552596 |
| 第一发明人: | 李冬梅 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种抗电迁移的声表面波传感器的制作方法，属于声表面波器件制造技术 领域。该方法以传统的铝膜换能器制作方法为基础，在传统铝膜换能器制作完成后，在换能 器的表面再沉积一层氮化钛薄膜作为扩散阻挡层。本发明的抗电迁移的声表面波传感器的制 作方法在传统的铝膜换能器的表面采用氮化钛薄膜作为铝膜的扩散阻挡层，可以在很大程度 上增加铝膜的抗电迁移性，同时延长换能器件的使用寿命。 |
| 其它备注: | |
科研产出