| 专利名称: | 一种制作空气桥的方法 |
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| 申请号: | 200810104222.2 |
| 申请日期: | 2008-04-16 |
| 专利号: | CN101561628 |
| 第一发明人: | 金 智 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明公开了一种制作空气桥的方法，该方法仅使用一种光刻胶， 具体包括：A.在基片上旋涂光刻胶，光刻、显影，制作桥墩图形；B. 对制作了桥墩图形的基片进行高温固化；C.在高温固化后的基片上旋 涂第二层同种光刻胶，光刻、显影，制作桥面图形；D.蒸发金属，布 线；E.进行金属剥离；F.溶掉高温固化后的光刻胶。本发明仅使用 一种光刻胶制作空气桥，有效地节约成本，工艺操作简单，可控性好。 |
| 其它备注: | |
科研产出