| 专利名称: | 基于微机电技术制作声表面波相关器的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200810224904.7 |
| 申请日期: | 2008-10-24 |
| 专利号: | CN101729035A |
| 第一发明人: | 李昊峰 贾锐 李维龙 陈晨 朱晨昕 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。利用本发明制作的声表面波相关器，具有体积小，制作工艺简单，反应迅速，且易与集成电路工艺集成的特点，而且叉指换能器的特殊设计大大减小了噪声干扰。 |
| 其它备注: | |
科研产出