| 专利名称: | 复合胶电镀制作空气桥的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200410001433.5 |
| 申请日期: | 2004-01-08 |
| 专利号: | CN1641837 |
| 第一发明人: | 邵刚 刘新宇 和致经 刘键 吴德馨 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种复合胶电镀制作空气桥的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)在基片上涂复合胶，光刻桥墩；2)高温烘烤，使复合胶边角圆滑；3)在复合胶上溅射起镀层；4)在起镀层上涂二次光刻胶，光刻桥面；5)光刻桥面后在起镀层上电镀金属；6)剥离去除光刻胶以下的起镀层，使之露出两侧的基片，形成空气桥。 |
| 其它备注: | |
科研产出