| 专利名称: | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200410058035.7 |
| 申请日期: | 2004-08-09 |
| 专利号: | CN1734730 |
| 第一发明人: | 魏 珂 和致经 刘新宇 刘 健 吴德馨 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触 Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工艺宽容度，可以在较低680℃-760℃的情况，获 得满意的欧姆接触特性。该技术的合金温度、合金时间有很大的选择范围， 降低了工艺难度，扩大了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。获得比较理 想的合金形貌。这些优势是现有其它欧姆接触技术所不具备的。 |
| 其它备注: | |
科研产出