| 专利名称: | 适用于氮化镓器件的钛/铝/钛/铂/金欧姆接触系统 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200410058036.1 |
| 申请日期: | 2004-08-09 |
| 专利号: | CN1734731 |
| 第一发明人: | 魏 珂 和致经 刘 健 刘新宇 吴德馨 |
| 其它发明人: | |
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| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Ti/Al/Ti/Pt/Au， 具有很大的工艺宽容度，可以在较低780℃的情况，获得满意的欧姆接触 特性，并得到理想的合金形貌，降低了器件研制的难度。这一技术对于掺 杂和非掺杂样品同样适用。 |
| 其它备注: | |
科研产出