| 专利名称: | 基于真空粘合工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法 |
| 申请号: | 200510012238.7 |
| 申请日期: | 2005-07-21 |
| 专利号: | CN1900668 |
| 第一发明人: | 石莎莉 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 专利摘要: | 基于真空粘合工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法，涉及微电 |
| 专利名称: | 基于真空粘合工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法 |
| 申请号: | 200510012238.7 |
| 申请日期: | 2005-07-21 |
| 专利号: | CN1900668 |
| 第一发明人: | 石莎莉 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 专利摘要: | 基于真空粘合工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法，涉及微电 |
科研产出