专利名称: 一种双线圈推拉式射频微机电系统开关
专利类别:
申请号: 200720149743.0
申请日期: 2007-06-20
专利号: CN201117591
第一发明人: 李全宝 景玉鹏 陈大鹏 欧 毅 叶甜春
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本实用新型涉及微机电系统(MEMS)应用中的射频微机电系统(RF
MEMS)技术领域,公开了一种双线圈推拉式RF MEMS开关,该射频微
机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分、电磁驱动部分和传输线部分,在
电磁驱动部分的平面线圈加电流产生的磁场与电磁驱动部分的永磁体产
生的磁场相叠加,改变整体磁场的方向,驱动扭摆梁开关可动部分动作,
接通或断开扭摆梁开关可动部分与传输线部分,实现触点通断。利用本实
用新型,提高了开关寿命,解决了现有电磁驱动RF MEMS开关存在的
缺陷,降低了功耗,改善了开关的稳定性,降低了加工的复杂度。
其它备注: