专利名称: 放电设备
专利类别:
申请号: 200920220079.3
申请日期: 2009-10-23
专利号: CN201522986U
第一发明人: 杨景华 张超前 赵玲利 王守国
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本实用新型提供了一种放电设备,属于等离子体技术领域。所述放电设备包括:电极阵列,设置成圆弧状,并连接至高频脉冲电源;圆滚轴,由金属制成,并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心,用于在接通高频脉冲电源时,在其与电极阵列之间进行放电。本实用新型提供的放电设备可以在大气压下产生低温均匀准辉光等离子体放电通道,可以对穿过等离子体放电区域的各种薄膜材料进行表面改性或接枝处理。
其它备注: