| 专利名称: | 带硅支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200920311669.7 |
| 申请日期: | 2009-09-28 |
| 专利号: | CN201561801U |
| 第一发明人: | 焦斌斌 陈大鹏 欧毅 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本实用新型涉及用于获取并转换红外信号的传感组件，尤其涉及一种带有硅支撑框架的全镂空光调制热成像焦平面阵列，本实用新型由外框和内框构成，该内框为网格状，设置在所述的外框内，形成多个镂空单元；每个镂空单元内设置一个微悬臂单元，该微悬臂单元与构成镂空结构的内框或外框相连接。 |
| 其它备注: | |
科研产出