| 专利名称: | 常压射频低温冷等离子体放电通道装置 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200420004986.1 |
| 申请日期: | 2004-03-18 |
| 专利号: | CN2682773 |
| 第一发明人: | 王守国 |
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| 国外申请日期: | |
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| 专利摘要: | 本实用新型公开一种常压射频低温冷等离子体放电通道装置，包括供气源，放电通道主体和射频电源，放电通道主体包括倒U形的外壳，其内部顶表面上设置有顶面绝缘体，两个内部侧表面上分别设置有侧面绝缘体；设置在顶面绝缘体的下表面上，位于两个侧面绝缘体之间并与射频电源相连的第一平板电极；及第二平板电极，其与外壳的开口端相连，与第一平板电极相对且平行，第二平板电极与第一电极相互绝缘，第二电极的中部设置有通孔，第一和第二平板电极及两个侧面绝缘体围成一个四周封闭、两端开口、横截面为长方形的长方体状的放电通道，供气源通过导管和通孔与放电通道连通。本实用新型等离子体放电装置，能够以较低击穿电压产生均匀大面积的等离子体。 |
| 其它备注: | |
科研产出