专利名称: | 常压低温冷等离子体放电通道装置 |
专利类别: | |
申请号: | 200420004987.6 |
申请日期: | 2004-03-18 |
专利号: | CN2746712 |
第一发明人: | 王守国 |
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专利摘要: | 本实用新型公开一种常压低温冷等离子体放电通道装置,包括高压 电源,供气源,和长方体形状的放电通道主体,其包括位于顶面且在中部 设置有通孔的第一电极,位于底面与第一电极平行相对的第二电极,其内 表面上设置有绝缘材料层;及两个长条形绝缘体,它们与两个电极一起围 成一个横截面为长方形的直放电通道,通孔与放电通道相连通,第一电极 位于放电通道内的下表面沿放电通道纵向的截面为锯齿状,一个电极与高 压电源相连而另一个接地,供气源通过导管与通孔相连,放电通道内的放 电是在常压下进行的。本实用新型能在大气压下产生稳定放电的冷等离子 体,进而对穿过放电通道的物体进行表面改性、表面清洗、表面消毒和薄 膜沉积等。 |
其它备注: | |
科研产出