等离子体放电与雾化接枝装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	等离子体放电与雾化接枝装置
专利类别:	实用新型
申请号:	200920246628.4
申请日期:	2009-10-21
专利号:
第一发明人:	赵玲利, 杨景华, 张超前, 王守国
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:	ZL200920246628.4
专利摘要:
其它备注:	八室二组

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