| 专利名称: | 大面积平板常压射频冷等离子体系统 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 200920108533.6 |
| 申请日期: | 2009-05-27 |
| 第一发明人: | 王守国, 张超前, 赵玲利, 杨景华 |
| 专利证书号: | ZL200920108533.6 |
| 其它备注: | 八室二组 |
| 专利名称: | 大面积平板常压射频冷等离子体系统 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 200920108533.6 |
| 申请日期: | 2009-05-27 |
| 第一发明人: | 王守国, 张超前, 赵玲利, 杨景华 |
| 专利证书号: | ZL200920108533.6 |
| 其它备注: | 八室二组 |
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