专利名称: 适用于增强型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT器件的栅退火方法
专利类别: 发明
申请号: 200710303895.6
申请日期: 2007-12-26
专利号:
第一发明人: 黎明, 徐静波, 付晓君
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号: ZL200710303895.6
专利摘要:
其它备注: 十一室