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专利名称: 微电子机械系统光学解复用器芯片的制备方法
专利类别: 发明
申请号: 200710064865.4
申请日期: 2007-03-28
专利号:
第一发明人: 欧毅, 陈大鹏, 孙雨南, 崔芳, 董立军, 刘辉, 韩劲东
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号: ZL200710064865.4
专利摘要:
其它备注: 十室
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