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专利名称: 平板式等离子体增强化学汽相淀积设备的反应室结构
专利类别: 发明
申请号: 200710303894.1
申请日期: 2007-12-26
专利号:
第一发明人: 刘训春, 周宗义, 李兵, 张育胜, 王佳, 张永利
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号: ZL200710303894.1
专利摘要:
其它备注: 八室四组
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