MEMS光谱气敏传感器 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	MEMS光谱气敏传感器
专利类别:	发明
申请号:	200710303888.6
申请日期:	2007-12-26
专利号:
第一发明人:	高超群, 刘茂哲, 惠瑜, 景玉鹏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:	ZL200710303888.6
专利摘要:
其它备注:	八室一组

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