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专利名称: 一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关
专利类别: 发明
申请号: 200710064879.6
申请日期: 2007-03-28
专利号:
第一发明人: 刘茂哲, 景玉鹏, 陈大鹏, 欧毅, 叶甜春
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号: ZL200710064879.6
专利摘要:
其它备注: 八室一组
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