一种电子束对准标记的制作方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种电子束对准标记的制作方法
专利类别:	发明
申请号:	200710121502.X
申请日期:	2007-09-07
专利号:
第一发明人:	李诚瞻, 黄俊, 郑英奎, 刘果果, 和致经, 魏珂, 刘新宇
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:	ZL200710121502.X
专利摘要:
其它备注:	四室

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