专利名称: 采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 200810222329.7
申请日期: 2008-09-17
专利号: 200810222329.7
第一发明人: 赵以贵,刘明,牛洁斌