等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置. --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置.
专利类别:	实用新型
申请号:	201020293992.9
申请日期:	2010-08-17
专利号:	201020293992.9
第一发明人:	汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉李勇滔
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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