| 专利名称: | 一种等离子体浸没离子注入系统 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 201020247215.0 |
| 申请日期: | 2010-07-05 |
| 专利号: | 201020247215.0 |
| 第一发明人: | 李超波 刘杰 汪明刚 夏洋 罗威 罗小晨 李勇滔 |
| 专利名称: | 一种等离子体浸没离子注入系统 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 201020247215.0 |
| 申请日期: | 2010-07-05 |
| 专利号: | 201020247215.0 |
| 第一发明人: | 李超波 刘杰 汪明刚 夏洋 罗威 罗小晨 李勇滔 |
科研产出