一种等离子体浸没离子注入系统 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种等离子体浸没离子注入系统
专利类别:	实用新型
申请号:	201020247215.0
申请日期:	2010-07-05
专利号:	201020247215.0
第一发明人:	李超波刘杰汪明刚夏洋罗威罗小晨李勇滔
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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