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专利名称: 用于双腔式结构等离子体浸没离子注入的隔板装置
专利类别: 实用新型
申请号: 201020250591.5
申请日期: 2010-07-07
专利号: 201020250591.5
第一发明人: 刘杰 汪明刚 夏洋 李超波 罗威 罗晓晨 李勇滔
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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