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专利名称: 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关
专利类别: 发明专利
申请号: 200710064876.2
申请日期: 2007-03-28
专利号: 200710064876.2
第一发明人: 李全宝，景玉鹏，陈大鹏，欧毅，叶甜春
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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