一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关
专利类别:	发明专利
申请号:	200710117611.4
申请日期:	2007-06-20
专利号:	200710117611.4
第一发明人:	李全宝，景玉鹏，陈大鹏，欧毅，叶甜春
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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