一种栅介质/金属栅集成结构的制备方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种栅介质/金属栅集成结构的制备方法
专利类别:	发明专利
申请号:	200810224908.5
申请日期:	2008-10-24
专利号:	200810224908.5
第一发明人:	徐秋霞，许高博，柴淑敏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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