一种电热式旋转涂覆制备薄膜装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种电热式旋转涂覆制备薄膜装置
专利类别:	实用新型
申请号:	201020157245.2
申请日期:	2010-04-09
专利号:	201020157245.2
第一发明人:	王燕鹊
其它发明人:
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实施情况:
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专利摘要:
其它备注:

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