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专利名称: TaN材料腐蚀溶液以及TaN材料腐蚀方法
专利类别: 发明专利
申请号: 200810223349.6
申请日期: 2008-09-26
专利号: 200810223349.6
第一发明人: 李永亮、徐秋霞
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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