一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201110155259.X
申请日期:	2011-06-10
专利号:
第一发明人:	李冬梅,汪幸,刘明,闫学锋,侯成诚,周文
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: