专利名称: 一种制作结晶态高K栅介质材料的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201110383802.1
申请日期: 2011-11-28
专利号:
第一发明人: 刘洪刚,薛百清,常虎东,孙兵,王盛凯,卢力,王虹
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: