一种真空等离子喷涂技术制备Y2O3陶瓷涂层的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种真空等离子喷涂技术制备Y2O3陶瓷涂层的方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201110396373.1
申请日期:	2011-12-02
专利号:
第一发明人:	邵花,王文东,刘邦武,夏洋,李勇滔
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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