一种制作声表面波传感器敏感膜的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种制作声表面波传感器敏感膜的方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201110050069.1
申请日期:	2011-03-02
专利号:
第一发明人:	李冬梅，汪幸，刘明，周文，侯成诚，闫学锋，谢常青，叶甜春，霍宗亮，龙世兵
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: