复合光子筛投影式光刻系统 --中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出专利

专利名称:	复合光子筛投影式光刻系统
专利类别:	发明专利
申请号:	PCT/CN2011/078453
申请日期:	2011-08-16
专利号:
第一发明人:	谢常青,高南,华一磊,朱效立,李海亮,史丽娜,李冬梅,刘明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

中国科学院微电子研究所版权所有邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1