专利名称: 一种微波单片集成电路中的金属布线层结构及其制备方法
专利类别: 发明
申请号: 200910307518.9
申请日期: 2009-09-23
专利号: 200910307518.9
第一发明人: 蒲颜 罗卫军 陈晓娟 魏珂 刘新宇
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