一种制备悬浮ZnO纳米线场效应晶体管的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种制备悬浮ZnO纳米线场效应晶体管的方法
专利类别:	发明
申请号:	200910078555.7
申请日期:	2009-02-25
专利号:	200910078555.7
第一发明人:	付晓君，张海英，徐静波，黎明
其它发明人:
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实施情况:
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专利摘要:
其它备注:

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