一种制备金属性金属氮化物薄膜的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种制备金属性金属氮化物薄膜的方法
专利类别:	发明
申请号:	200810226687.5
申请日期:	2008-11-19
专利号:	200810226687.5
第一发明人:	陈世杰，王文武
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