多功能离子束溅射设备 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	多功能离子束溅射设备
专利类别:	发明
申请号:	200910083499.6
申请日期:	2009-05-06
专利号:	200910083499.6
第一发明人:	龙世兵，刘明，陈宝钦，谢常青，贾锐，徐连生
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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