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专利名称: 原子层薄膜沉积系统
专利类别: 外观设计
申请号: 201130473781.3
申请日期: 2011-12-13
专利号: 201130473781.3
第一发明人: 夏洋,李超波,陈波,万军,吕树玲,马舒
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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