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专利名称: 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
专利类别: 实用新型
申请号: 201120527005.1
申请日期: 2011-12-15
专利号: 201120527005.1
第一发明人: 窦伟,李楠,李超波,夏洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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