电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
专利类别:	实用新型
申请号:	201120527128.5
申请日期:	2011-12-15
专利号:	201120527128.5
第一发明人:	窦伟,李楠,李超波,夏洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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