刻蚀系统机柜 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	刻蚀系统机柜
专利类别:	外观设计
申请号:	201130402162.5
申请日期:	2011-11-04
专利号:	201130402162.5
第一发明人:	席峰,胡冬冬,屈芙蓉,刘训春,李勇滔,李楠,张庆钊,夏洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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