一种制作聚酰亚胺有机镂空薄膜的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种制作聚酰亚胺有机镂空薄膜的方法
专利类别:	发明
申请号:	200710178315.5
申请日期:	2007-11-28
专利号:	ZL200710178315.5
第一发明人:	朱效立,谢常青,叶甜春,刘明
其它发明人:
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专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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