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专利名称: 一种采用X射线曝光制作声表面波器件的方法
专利类别: 发明
申请号: 200810222328.2
申请日期: 2008-09-17
专利号: 200810222328.2
第一发明人: 赵以贵,李晶晶,朱效立,牛洁斌,刘明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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