半导体二氧化碳超临界吹扫清洗机 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	半导体二氧化碳超临界吹扫清洗机
专利类别:	发明
申请号:	200810226688.X
申请日期:	2008-11-19
专利号:	0
第一发明人:	惠瑜,景玉鹏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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