一种在线检测硅纳米晶形态的方法 --中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出专利

专利名称:	一种在线检测硅纳米晶形态的方法
专利类别:	发明
申请号:	200910078556.1
申请日期:	2009-02-25
专利号:	200910078556.1
第一发明人:	刘明,王永,王琴,杨潇楠
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

中国科学院微电子研究所版权所有邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1