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专利名称: 一种无CMP的适用于后栅工艺的平坦化制备工艺
专利类别: 发明
申请号: 200910236720.7
申请日期: 2009-10-28
专利号: 0
第一发明人: 徐秋霞,钟兴华
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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