制作具有多电极超低电感的多槽PN结电容器的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	制作具有多电极超低电感的多槽PN结电容器的方法
专利类别:	发明
申请号:	200910244525.9
申请日期:	2009-12-30
专利号:	200910244525.9
第一发明人:	万里兮，吕壵，王惠娟
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:	九室

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