利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置
专利类别:	发明
申请号:	201010524334.0
申请日期:	2010-10-28
专利号:	201010524334.0
第一发明人:	刘涛，李国光，艾迪格？基尼欧，马铁中，夏洋，严晓浪
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:	八室五组

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